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Electronic promotion of silicon oxynitridation at room temperature by alkali-metal catalysts

Glachant, A. / Soukiassian, P. / Kim, S. T. / Hurych, Z.

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Titel:

Electronic promotion of silicon oxynitridation at room temperature by alkali-metal catalysts

Beteiligte:

Glachant, A. (Autor:in) / Soukiassian, P. (Autor:in) / Kim, S. T. (Autor:in) / Hurych, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 65//66 ; 847

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

847 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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