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    Titel:

    Quantitative kinetic analysis of silicon nitridation

    Beteiligte:

    Pigeon, R. G. (Autor:in) / Varma, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 28 ; 2999

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1993

    Format / Umfang:

    2999 pages

    ISSN:

    0022-2461

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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