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Nitridation of silicon by nitrogen neutral beam

Hara, Y. / Shimizu, T. / Shingubara, S.

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Titel:

Nitridation of silicon by nitrogen neutral beam

Beteiligte:

Hara, Y. (Autor:in) / Shimizu, T. (Autor:in) / Shingubara, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 363 ; 555-559

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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