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Stress in evaporated films used in GaAs processing

Strifler, W. A. / Bates, C. W.

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Titel:

Stress in evaporated films used in GaAs processing

Beteiligte:

Strifler, W. A. (Autor:in) / Bates, C. W. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 6 ; 548

Erscheinungsdatum:

01.01.1991

Format / Umfang:

548 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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