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RuO~2 films by metal-organic chemical vapor deposition

Si, J. / Desu, S. B.

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Titel:

RuO~2 films by metal-organic chemical vapor deposition

Beteiligte:

Si, J. (Autor:in) / Desu, S. B. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 8 ; 2644

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

2644 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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