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The morphological degradation mechanism of TiSi~2/Si structure

Hwang, Y. S. / Paek, S. H. / Kim, H. S. / Cho, H. C.

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Titel:

The morphological degradation mechanism of TiSi~2/Si structure

Beteiligte:

Hwang, Y. S. (Autor:in) / Paek, S. H. (Autor:in) / Kim, H. S. (Autor:in) / Cho, H. C. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 12 ; 1682

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

1682 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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