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    Titel:

    Dopant redistribution during the formation of tungsten disilicide by rapid thermal processing

    Beteiligte:

    Dupuy, J. C. (Autor:in) / Essaadani, A. (Autor:in) / Sibai, A. (Autor:in) / Barbier, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 22 ; 168

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    168 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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