Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition of Coatings in the System Ti-B-N: Fid-Bau Portal

Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition of Coatings in the System Ti-B-N

Laimer, J. / Karner, H. / Stoeri, H. / Roedhammer, P.

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Titel:

Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition of Coatings in the System Ti-B-N

Beteiligte:

Laimer, J. (Autor:in) / Karner, H. (Autor:in) / Stoeri, H. (Autor:in) / Roedhammer, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 439

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

439 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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