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    Titel:

    Electron-beam-induced nitrogen migration through a nitrided silicon dioxide thin film

    Beteiligte:

    Garcia, V. (Autor:in) / Glachant, A. (Autor:in) / Pantel, R. (Autor:in) / Straboni, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 74 ; 165

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    165 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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