Electrical behavior of low-power RF magnetron-sputtered indium tin oxide films on silicon substrate: Fid-Bau Portal

Electrical behavior of low-power RF magnetron-sputtered indium tin oxide films on silicon substrate

Chiou, B.-S. / Hsieh, S.-T. / Wu, W.-F.

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Titel:

Electrical behavior of low-power RF magnetron-sputtered indium tin oxide films on silicon substrate

Beteiligte:

Chiou, B.-S. (Autor:in) / Hsieh, S.-T. (Autor:in) / Wu, W.-F. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 74 ; 297

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

297 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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