Vibrational spectroscopy characterization of magnetron sputtered silicon oxide and silicon oxynitride films: Fid-Bau Portal

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Vibrational spectroscopy characterization of magnetron sputtered silicon oxide and silicon oxynitride films

Godinho, V. / Denisov, V. N. / Mavrin, B. N. / Novikova, N. N. / Vinogradov, E. A. / Yakovlev, V. A. / Fernandez-Ramos, C. / de Haro, M. C. / Fernandez, A.

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Godinho, V. / Denisov, V. N. / Mavrin, B. N. / Novikova, N. N. / Vinogradov, E. A. / Yakovlev, V. A. / Fernandez-Ramos, C. / de Haro, M. C. / Fernandez, A.

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Godinho, V. / Denisov, V. N. / Mavrin, B. N. / Novikova, N. N. / Vinogradov, E. A. / Yakovlev, V. A. / Fernandez-Ramos, C. / de Haro, M. C. / Fernandez, A.

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Titel:

Vibrational spectroscopy characterization of magnetron sputtered silicon oxide and silicon oxynitride films

Beteiligte:

Godinho, V. (Autor:in) / Denisov, V. N. (Autor:in) / Mavrin, B. N. (Autor:in) / Novikova, N. N. (Autor:in) / Vinogradov, E. A. (Autor:in) / Yakovlev, V. A. (Autor:in) / Fernandez-Ramos, C. (Autor:in) / de Haro, M. C. (Autor:in) / Fernandez, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 156-164

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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