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    Titel:

    Effect of deposition temperature on dielectric properties of PECVD Ta~2O~5 thin film

    Beteiligte:

    Hwan Seong Moon (Autor:in) / Jae Suk Lee (Autor:in) / Sung Wook Han (Autor:in) / Jong Wan Park (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 29 ; 3372

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    3372 pages

    ISSN:

    0022-2461

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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