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    Titel:

    Gas phase reactions diagnosed by mass analysis in photo-assisted chemical vapor deposition of silicon nitride

    Beteiligte:

    Yoshimoto, M. (Autor:in) / Takubo, K. (Autor:in) / Komoda, M. (Autor:in) / Matsunami, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 79/80 ; 264

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    264 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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