Surface oxidation of aluminium nitride thin films: Fid-Bau Portal

Surface oxidation of aluminium nitride thin films

Watanabe, Y. / Hara, Y. / Tokuda, T. / Kitazawa, N. / Nakamura, Y.

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Titel:

Surface oxidation of aluminium nitride thin films

Beteiligte:

Watanabe, Y. (Autor:in) / Hara, Y. (Autor:in) / Tokuda, T. (Autor:in) / Kitazawa, N. (Autor:in) / Nakamura, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 16 ; 211-214

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0267-0844

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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