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Copper Metallization Technology for Deep Submicron ULSIs

Arita, Y. / Awaya, N. / Ohno, K. / Sato, M.

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Titel:

Copper Metallization Technology for Deep Submicron ULSIs

Beteiligte:

Arita, Y. (Autor:in) / Awaya, N. (Autor:in) / Ohno, K. (Autor:in) / Sato, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 19 ; 68

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

68 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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