Characterization of striations in silicon wafers by a multipass Fabry-Perot Rayleigh-Brillouin scattering spectrometer: Fid-Bau Portal

Characterization of striations in silicon wafers by a multipass Fabry-Perot Rayleigh-Brillouin scattering spectrometer

Lu, T. / Ng, S. C.

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Titel:

Characterization of striations in silicon wafers by a multipass Fabry-Perot Rayleigh-Brillouin scattering spectrometer

Beteiligte:

Lu, T. (Autor:in) / Ng, S. C. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 9 ; 2712

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

2712 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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