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Surface processes of selective growth by atomic layer epitaxy

Isshiki, H. / Aoyagi, Y. / Sugano, T. / Iwai, S.

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Titel:

Surface processes of selective growth by atomic layer epitaxy

Beteiligte:

Isshiki, H. (Autor:in) / Aoyagi, Y. (Autor:in) / Sugano, T. (Autor:in) / Iwai, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 82/83 ; 57

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

57 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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