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    Titel:

    Optical in-situ analysis of GaAs/AlAs/GaAs and GaAs/(Al)GaAs/GaAs atomic layer growth using GaCl~3, AlCl~3 and AsH~3

    Beteiligte:

    Akamatsu, M. (Autor:in) / Narahara, S. (Autor:in) / Kobayashi, T. (Autor:in) / Hasegawa, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 82/83 ; 228

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    228 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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