A Test Structure for the Determination of LOCOS/WELL Misalignments in CMOS Technology: Fid-Bau Portal

A Test Structure for the Determination of LOCOS/WELL Misalignments in CMOS Technology

Georgiev, N. P. / Stamenova, P. S.

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Titel:

A Test Structure for the Determination of LOCOS/WELL Misalignments in CMOS Technology

Beteiligte:

Georgiev, N. P. (Autor:in) / Stamenova, P. S. (Autor:in)

Erschienen in:

COMPTES RENDUS- ACADEMIE BULGARE DES SCIENCES ; 47 ; 31

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

31 pages

ISSN:

0861-1459

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 500

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