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Growth, structure and stress of sputtered TiB~2 thin films

Chen, J. / Barnard, J. A.

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Titel:

Growth, structure and stress of sputtered TiB~2 thin films

Beteiligte:

Chen, J. (Autor:in) / Barnard, J. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- A ; 191 ; 233

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

233 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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