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    Titel:

    Tunable UV-flash krypton lamp array useful for large area deposition and in situ UV annealing of Si-based dielectrics

    Beteiligte:

    Flicstein, J. (Autor:in) / Vitel, Y. (Autor:in) / Dulac, O. (Autor:in) / Debauche, C. (Autor:in) / Dieleman, J. / Biermann, U. K. P. / Hess, P.

    Erschienen in:

    Photon-Assisted Processing of Surfaces and Thin Films ; 286

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 86

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1995

    Format / Umfang:

    286 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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