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    Titel:

    SiON large area deposition with a deep-UV flash argon/krypton lamp array

    Beteiligte:

    Flicstein, J. (Autor:in) / Mba, J. (Autor:in) / Lescaut, B. (Autor:in) / Vitel, Y. (Autor:in) / Ossart, P. (Autor:in) / Licoppe, C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 106 ; 44-50

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1996

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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