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Skaf, D. W. / Burns, K. E.

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Titel:

Thermodynamic analysis of chemical vapour deposition from methoxysilanes

Beteiligte:

Skaf, D. W. (Autor:in) / Burns, K. E. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 30 ; 2895

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

2895 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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