Gas permeabilities in thermally grown silicon dioxide films: Fid-Bau Portal

Gas permeabilities in thermally grown silicon dioxide films

Li, Y.-L. / Pinto, N. G. / Henderson, H. T. / Hwang, S.-T.

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Titel:

Gas permeabilities in thermally grown silicon dioxide films

Beteiligte:

Li, Y.-L. (Autor:in) / Pinto, N. G. (Autor:in) / Henderson, H. T. (Autor:in) / Hwang, S.-T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 32 ; 63

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

63 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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