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Dynamic annealing of damage in Ar^+-implanted GaAs crystals

Kutas, A. A. / Kovyazina, T. V. / Akimov, A. N. / Gusakov, G. A.

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Titel:

Dynamic annealing of damage in Ar^+-implanted GaAs crystals

Beteiligte:

Kutas, A. A. (Autor:in) / Kovyazina, T. V. (Autor:in) / Akimov, A. N. (Autor:in) / Gusakov, G. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 34 ; 32

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

32 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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