Influence of extended defects and native impurities on external gettering in polycrystalline silicon: Fid-Bau Portal

Influence of extended defects and native impurities on external gettering in polycrystalline silicon

Ehret, E. / Allais, V. / Vallard, J.-P. / Laugier, A.

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Titel:

Influence of extended defects and native impurities on external gettering in polycrystalline silicon

Beteiligte:

Ehret, E. (Autor:in) / Allais, V. (Autor:in) / Vallard, J.-P. (Autor:in) / Laugier, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 34 ; 210-215

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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