Sputtered amorphous carbon nitride films: Fid-Bau Portal

Sputtered amorphous carbon nitride films

Kreider, K. G. / Tarlov, M. J. / Gillen, G. J. / Poirier, G. E. / Robins, L. H. / Ives, L. K. / Bowers, W. D. / Marinenko, R. B. / Smith, D. T.

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Kreider, K. G. / Tarlov, M. J. / Gillen, G. J. / Poirier, G. E. / Robins, L. H. / Ives, L. K. / Bowers, W. D. / Marinenko, R. B. / Smith, D. T.

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Titel:

Sputtered amorphous carbon nitride films

Beteiligte:

Kreider, K. G. (Autor:in) / Tarlov, M. J. (Autor:in) / Gillen, G. J. (Autor:in) / Poirier, G. E. (Autor:in) / Robins, L. H. (Autor:in) / Ives, L. K. (Autor:in) / Bowers, W. D. (Autor:in) / Marinenko, R. B. (Autor:in) / Smith, D. T. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 10 ; 3079-3083

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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