Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Comparison of surface roughness measurements by stylus profiler, AFM and non-contact optical profiler
Comparison of surface roughness measurements by stylus profiler, AFM and non-contact optical profiler
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Poon, C. Y. (Autor:in) / Bhushan, B. (Autor:in)
WEAR -LAUSANNE- ; 190 ; 76-88
01.01.1995
13 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11292
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A novel stylus profiler without nonlinearity and parasitic motion for FPD inspection system
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