A novel stylus profiler without nonlinearity and parasitic motion for FPD inspection system: Fid-Bau Portal

A novel stylus profiler without nonlinearity and parasitic motion for FPD inspection system

Jung, H.S. / Hong, M.-S. / Lee, S.-H. / Park, J.H. / Kang, D.W. / Lee, M.G.

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Titel:

A novel stylus profiler without nonlinearity and parasitic motion for FPD inspection system

Beteiligte:

Jung, H.S. (Autor:in) / Hong, M.-S. (Autor:in) / Lee, S.-H. (Autor:in) / Park, J.H. (Autor:in) / Kang, D.W. (Autor:in) / Lee, M.G. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY ; 21 ; 1491-1497

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1738-494X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621

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