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InN thin-film growth using an ECR plasma source

Sato, Y. / Sato, S.

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Titel:

InN thin-film growth using an ECR plasma source

Beteiligte:

Sato, Y. (Autor:in) / Sato, S. (Autor:in) / Henini, M. / Szweda, R.

Erschienen in:

Low Dimensional Structures and Devices ; 171-175

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 35

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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