Nature of D-Defect in CZ Silicon: D-Defect Dissolution and D-Defect Related T.D.D.B: Fid-Bau Portal

Nature of D-Defect in CZ Silicon: D-Defect Dissolution and D-Defect Related T.D.D.B

Park, J.-G. / Jung, J.-K. / Cho, K.-C. / Rozgonyi, G. A.

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Titel:

Nature of D-Defect in CZ Silicon: D-Defect Dissolution and D-Defect Related T.D.D.B

Beteiligte:

Park, J.-G. (Autor:in) / Jung, J.-K. (Autor:in) / Cho, K.-C. (Autor:in) / Rozgonyi, G. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 1697-1706

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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