Study of near-surface microdefects in Czochralski-Si wafers after a CMOS thermal process: Fid-Bau Portal

Study of near-surface microdefects in Czochralski-Si wafers after a CMOS thermal process

Kitagawara, Y. / Aihara, K. / Oka, S. / Takenaka, T.

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Titel:

Study of near-surface microdefects in Czochralski-Si wafers after a CMOS thermal process

Beteiligte:

Kitagawara, Y. (Autor:in) / Aihara, K. (Autor:in) / Oka, S. (Autor:in) / Takenaka, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 1835-1840

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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