Effect of light germanium doping on thermal donors in Czochralski silicon wafers: Fid-Bau Portal

Effect of light germanium doping on thermal donors in Czochralski silicon wafers

Cui, C. / Yang, D. / Ma, X. / Li, M. / Que, D.

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Titel:

Effect of light germanium doping on thermal donors in Czochralski silicon wafers

Beteiligte:

Cui, C. (Autor:in) / Yang, D. (Autor:in) / Ma, X. (Autor:in) / Li, M. (Autor:in) / Que, D. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 110-113

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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