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Local Structure Analysis Around Arsenic Implanted Into Silicon By XAFS Technique

Horii, Y. / Kikuchi, Y. / Kase, M. / Komiya, S.

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Titel:

Local Structure Analysis Around Arsenic Implanted Into Silicon By XAFS Technique

Beteiligte:

Horii, Y. (Autor:in) / Kikuchi, Y. (Autor:in) / Kase, M. (Autor:in) / Komiya, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 1887-1890

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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