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    Titel:

    Oxygen precipitates in annealed CZ silicon wafers detected by SIRM and FTIR spectroscopy

    Beteiligte:

    Veve, C. (Autor:in) / Stemmer, M. (Autor:in) / Martinuzzi, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 36 ; 200-203

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1996

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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