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In situ X-ray reflectivity measurement of thin film growth during vacuum deposition

Lee, C.-H. / Tseng, S.-Y.

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Titel:

In situ X-ray reflectivity measurement of thin film growth during vacuum deposition

Beteiligte:

Lee, C.-H. (Autor:in) / Tseng, S.-Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 92 ; 282-286

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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