Pulsed laser deposition of silicon nitride thin films by laser ablation of a Si target in low pressure ammonia: Fid-Bau Portal

Pulsed laser deposition of silicon nitride thin films by laser ablation of a Si target in low pressure ammonia

Mihailescu, I. N. / Lita, A. / Teodorescu, V. S. / Luches, A. / Martino, M. / Perrone, A. / Gartner, M.

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Titel:

Pulsed laser deposition of silicon nitride thin films by laser ablation of a Si target in low pressure ammonia

Beteiligte:

Mihailescu, I. N. (Autor:in) / Lita, A. (Autor:in) / Teodorescu, V. S. (Autor:in) / Luches, A. (Autor:in) / Martino, M. (Autor:in) / Perrone, A. (Autor:in) / Gartner, M. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 31 ; 2839-2847

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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