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Excimer laser induced thermal evaporation and ablation of silicon carbide

Reitano, R. / Baeri, P. / Marino, N.

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Titel:

Excimer laser induced thermal evaporation and ablation of silicon carbide

Beteiligte:

Reitano, R. (Autor:in) / Baeri, P. (Autor:in) / Marino, N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 96/98 ; 302-308

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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