Excimer laser-induced doping of crystalline silicon carbide films: Fid-Bau Portal

Excimer laser-induced doping of crystalline silicon carbide films

Krishnan, S. / D'Couto, G. C. / Chaudhry, M. I. / Babu, S. V.

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Titel:

Excimer laser-induced doping of crystalline silicon carbide films

Beteiligte:

Krishnan, S. (Autor:in) / D'Couto, G. C. (Autor:in) / Chaudhry, M. I. (Autor:in) / Babu, S. V. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 10 ; 2723

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

2723 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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