Laser reactive ablation deposition of silicon carbide films: Fid-Bau Portal

Laser reactive ablation deposition of silicon carbide films

Leggieri, G. / Luches, A. / Martino, M. / Perrone, A. / Alexandrescu, R. / Barborica, A. / Gyorgy, E. / Mihailescu, I. N. / Majni, G. / Mengucci, P.

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Leggieri, G. / Luches, A. / Martino, M. / Perrone, A. / Alexandrescu, R. / Barborica, A. / Gyorgy, E. / Mihailescu, I. N. / Majni, G. / Mengucci, P.

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Titel:

Laser reactive ablation deposition of silicon carbide films

Beteiligte:

Leggieri, G. (Autor:in) / Luches, A. (Autor:in) / Martino, M. (Autor:in) / Perrone, A. (Autor:in) / Alexandrescu, R. (Autor:in) / Barborica, A. (Autor:in) / Gyorgy, E. (Autor:in) / Mihailescu, I. N. (Autor:in) / Majni, G. (Autor:in) / Mengucci, P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 96/98 ; 866-869

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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