The leakage current mechanism of PZT thin films deposited by in-situ sputtering: Fid-Bau Portal

The leakage current mechanism of PZT thin films deposited by in-situ sputtering

Hwang, Y. S. / Paek, S. H. / Mah, J. P.

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Titel:

The leakage current mechanism of PZT thin films deposited by in-situ sputtering

Beteiligte:

Hwang, Y. S. (Autor:in) / Paek, S. H. (Autor:in) / Mah, J. P. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 15 ; 1030-1031

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

2 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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