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    Titel:

    Ferroelectric Thin Films in Microelectromechanical Systems Applications

    Beteiligte:

    Polla, D. L. (Autor:in) / Francis, L. F. (Autor:in) / Auciello, O. / Ramesh, R.

    Erschienen in:

    Electroceramic Thin Films Part II: Device Applications ; 59-65

    MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 21

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1996

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0883-7694

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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