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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Piezoelectric aluminum nitride thin films for microelectromechanical systems

    Beteiligte:

    Piazza, G. (Autor:in) / Felmetsger, V. (Autor:in) / Muralt, P. (Autor:in) / Olsson, R.H. (Autor:in) / Ruby, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 37 ; 1051

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    1051 pages

    ISSN:

    0883-7694

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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