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    Titel:

    Deposition of titanium nitride/tungsten layers for application in vertically integrated circuits technology

    Beteiligte:

    Ruhl, G. (Autor:in) / Froeschle, B. (Autor:in) / Ramm, P. (Autor:in) / Intemann, A. (Autor:in) / Pamler, W. (Autor:in) / Gessner, T. / Schulz, S. E.

    Erschienen in:

    Materials for Advanced Metallization ; 382-387

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 91

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1996

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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