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Wen, L. / Huang, R.

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Titel:

Low Temperature Deposition of Titanium Nitride

Beteiligte:

Wen, L. (Autor:in) / Huang, R. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SHENYANG- ; 14 ; 289-293

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1005-0302

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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