Oxidation of thin erbium and erbium silicide overlayers in contact with silicon oxide films thermally grown on silicon: Fid-Bau Portal

Oxidation of thin erbium and erbium silicide overlayers in contact with silicon oxide films thermally grown on silicon

Kennou, S. / Ladas, S. / Grimaldi, M. G. / Nyugen Tan, T. A. / Veuillen, J. Y.

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Titel:

Oxidation of thin erbium and erbium silicide overlayers in contact with silicon oxide films thermally grown on silicon

Beteiligte:

Kennou, S. (Autor:in) / Ladas, S. (Autor:in) / Grimaldi, M. G. (Autor:in) / Nyugen Tan, T. A. (Autor:in) / Veuillen, J. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 102 ; 142-146

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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