Chemical vapor deposition synthesis and characterization of co-deposited silicon-nitrogen-boron materials: Fid-Bau Portal

Chemical vapor deposition synthesis and characterization of co-deposited silicon-nitrogen-boron materials

Essafti, A. / Gomez-Aleixandre, C. / Fierro, J. L. G. / Fernandez, M. / Albella, J. M.

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Titel:

Chemical vapor deposition synthesis and characterization of co-deposited silicon-nitrogen-boron materials

Beteiligte:

Essafti, A. (Autor:in) / Gomez-Aleixandre, C. (Autor:in) / Fierro, J. L. G. (Autor:in) / Fernandez, M. (Autor:in) / Albella, J. M. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 11 ; 2565-2574

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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