Intermixing in immiscible molybdenum/copper multilayered metallization under excimer laser irradiation: Fid-Bau Portal

Intermixing in immiscible molybdenum/copper multilayered metallization under excimer laser irradiation

Luby, S. / Majkova, E. / Jergel, M. / D'Anna, E. / Leggieri, G. / Luches, A. / Martino, M. / Valicek, J.

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Titel:

Intermixing in immiscible molybdenum/copper multilayered metallization under excimer laser irradiation

Beteiligte:

Luby, S. (Autor:in) / Majkova, E. (Autor:in) / Jergel, M. (Autor:in) / D'Anna, E. (Autor:in) / Leggieri, G. (Autor:in) / Luches, A. (Autor:in) / Martino, M. (Autor:in) / Valicek, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 106 ; 243-246

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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