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Excimer laser machining and metallization of vias in aluminium nitride

Lumpp, J. K.

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Titel:

Excimer laser machining and metallization of vias in aluminium nitride

Beteiligte:

Lumpp, J. K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 45 ; 208-212

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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