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Titanium nitride thin film deposition by laser CVD

Reisse, G. / Ebert, R.

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Titel:

Titanium nitride thin film deposition by laser CVD

Beteiligte:

Reisse, G. (Autor:in) / Ebert, R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 106 ; 268-274

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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